QIII+® Yüzey Parçacık Dedektörü
Transkript
QIII+® Yüzey Parçacık Dedektörü
QIII+® Yüzey Partikül Dedektörü Üretkenlik Kavramını Yeniden Tanımlayın PM sonrası bir aletin temizliğini nasıl ölçersiniz? Pentagon Technologies’in QIII+® PM toparlanma süresini, yeşilden yeşile süresini ciddi miktarda düşürebilir ve fabın genel iş çıkarma yeteneğini artırabilir. QIII+® kullanarak, anında 0.3 mikrona kadar partikülleri saptayabilir ve bir imalat aleti içinde konumlandırabilirsiniz. Bu PM’e dair ileriye dönük yaklaşım PM sürelerinde %30’a varan tasarruf ve partikül birikiminde %50 ya da daha fazla düşüşle sonuçlanacaktır. İşe temiz başlamak, işlem aletlerinizi her partikül boyutunda ciddi oranda daha az partikül birikintisiyle karşı karşıya bırakarak çok daha üretken yapacak bir ilk-adım toparlanma süreci olacaktır. Faydaları Tahmin edilebilir, ilk-adım alet toparlanma, her zaman Toparlanma süresini %25-50 düşürür Fırınlama ve test plakaları ihtiyacını düşürür Pompa-arıtma çevrimlerini azaltır MTBC’yi 4 kat ya da daha fazla artırır Alet bulunurluğunu artırır PM çevrim süresini azaltır Sorungiderme durumlarını azaltır İlk-Adım PM Toparlanma PM toparlanma süresi %50 ya da daha fazla düşürülebilir ve partikül birikimleri, partiküllerin ileriye dönük algılanıp normal PM esnasında temizlenmesiyle büyüklük oranında ya da daha az miktarda azaltılabilir. Örnek olarak, aşağıdaki denklem nasıl bölgeye-özgü temizlemenin (her PM’den pompa/arıtma çevrimlerinin düşürülmesi sonucuna dayalı olarak) yıllık geri dönüşlere ciddi oranda etki edeceğini göstermektedir. (Hazne sayısı x PM x 12 ay) x (Tasarruf edilen süre x Değer/saat.) = Yıllık tasarruf Fab hazne sayısı = 63 (21 alet; her biri için 3 işlem haznesi) PM/ay/hazne = 1 PM başına tasarruf edilen zaman = 1,5 saat (Her biri 1 saate denk 1,5 pompa/arıtma çevrimi ortadan kaldırılır) Alet süre saati başına değer = $10,000 Yıllık tasarruf = 11,340,000 Dolar (63 × 1 × 12) x (1.5 x $10,000) = 11,340,000 Dolar Artan MTBC Partiküllerin kontrol edilmesi için QIII+®’yi PM sürecine entegre etmekle Temizleme Arası Ortalama Süre (Mean Time Between Cleans (MTBC)) artıılabilir. Örnek 1: 300mm Dielektrik dağlama aleti MTBC QIII+® öncesi: 174 rf saat MTBC QIII+® sonrası: 300 rf saat Alet başı aylık CoO tasarrufu: 13,200 Dolar ROI: 3.6 ay Örnek 2: 300mm Metal dağlama aleti MTBC QIII+® öncesi: 40 rf saat MTBC QIII+® sonrası: 110 rf saat Alet başı aylık CoO tasarrufu: 85,200 Dolar ROI: 0.6 ay CoO, Wright Williams & Kelly A.Ş.’nin Tool Cool yazılımı kullanılarak hesaplanmıştır. Sorun Giderme Bir 300 mm PECVD cihazı partikül sorunlarından dolayı 2 ay çalışmaz durumda kalsı. Aylarca süren bileşen değiştirmeleri ve tekrarlanan ıslak temizlikler sonrası problem OEM’e kadar yükseldi. Ardından, yüksek parçacık bulunduran bölgelerin saptanması amacıyla hazne partiküllerinin haritalanması işlevi için QIII+® kullanıldı. QIII+® verilerine dayalı odaklanmış sorun giderme çalışmaları yapıldı. SONUÇ: Problem QIII+® kullanılarak 2 günde çözüldü ve cihaz anında üretime tekrar başladı. Teknik Veriler Boyutlar: 9.4” G x 17” D x 12” Y Giriş Gücü: 100-240 VAC, 50/60 Hz Ekran: 6.5” FPD dokunmatik ekran GUI: Windows CE Sensör: Lazer diot - 0.3μ hassasiyet Çıkış: Ethernet Prob Koruyucu Çerçeve Malzemesi: Vespel Partikül Analiz Modülü (opsiyonel) Prob Seçenekleri Standart: 1/2” Dik Açı ve 5/8” Kalem Prob veya 1/2” Dik Açı ve 2” Düz Optional: 3” Düz; 2” ve 3” Dik Açı 65 mm Kaset Talep üzerine kişiselleştirme mümkündür Fan Filtre Üniteleri Temiz aletler temiz havaya ihtiyaç duyar. Yenilikçi, özelleştirilmiş çözümlere dair bağlılığımız EFEM’iniz içindeki havanın, mümkün olan en verimli şekilde en yüksek partikül giderme standardına uyumlu olmasını temin etmeyi içermektedir. Pentagon Technologies her tür ortam için küçük, özelleştirilmiş üniteler tasarlar ve üretir. Öncelikle her bir müşterimizin ihtiyaçlarını ve sorunlarını belirlemek için kendileriyle görüşürüz. Ekibimiz ortamınıza ve hava akış yönetimi özelliklerinize uyacak bir ilk tasarım geliştirecektir. Süreç ve ortam için gerekli konfigürasyon, hava akışı, boyut ve standartları belirledikten sonra, fan filtrenizin mühendislik ve test aşamasına geçilecektir. Ancak filtre üniteniz bu koşulları sağladıktan ya da aştıktan sonra temiz odanıza kurulumu yapılacaktır. Ünitelerimiz .12µ mpps’de (en fazla geçen parçacık boyutu) %99,99995 verime ulaşabilmektedir. Mevcut hiçbir filtre bu seviyeyi geçememiştir. Fan filtre ünitelerimiz Sınıf 1 temiz oda için geçerli yeni ISO 14644-1 standardını – metreküpte 10 ya da daha az 0.1µ parçacık– karşılayabilmektedir. Hava akışı partikül kontrol ve basınçlama için uygun olmalıdır. Filtre ünitelerimiz, hava akış hızını izleyecek ayarlanabilir damperlerle bu ikisi için optimum dengeyi sağlayabilmektedir. Hız, iyonizasyon ve ünitenizdeki körük sayısını da kapsayan bir dizi ayarlama olanağına sahipsiniz. Filtre tasarımınızda her tür gereksinim cevap bulabilir –fan kapasitesinden hata alarmlarına, uzaktan kumanda, hizmet gerekleri ve gürültü seviyesine kadar. Birden fazla filtre seçeneği elinizin altında – borosilikat fiber, düşük boron ve boronsuz (PTFE) filtre seçenekleri. Her türlü malzemeyle –çelik, plastik, alüminyum– çalışabilmekte ve ihtiyaçlarınız doğrultusunda her boyutta ünite üretebilmekteyiz. Fab ortamınız için özelleştirilmiş kimyasal filtrasyon seçenekleri tasarlayabilmekte ve ekleyebilmekteyiz. Pentagon Technologies her tasarımda filtre ve körüklere kolay erişimi standart olarak sunmaktadır. Dar alan ve özel güç gereksinimleri gibi her tür koşula uyan üniteler sağlayabilmekteyiz. Mühendislerimiz üniteleri sahada test eder, dengeler ve bakım yapar. Kurulduktan sonra ekibimiz ünitenizi ihtiyacınız olduğu şekilde tekrar dengeleyebilir ve test edebilir. Bu çeşit desteği her nokada tüm fablara sunmaktayız. Koruyucu Giysi Sistemleri Kullandığınız koruma sistemi güven hissi yaratmalıdır. Ürününüzü ya da çalışanlarınızı korumak için sisteminiz güvenilir ve en zorlu ortamları kaldırabilecek kabiliyette olmalıdır. Aynı zamanda giyen kişinin uzun süreler boyunca hassas hareketler yapmasına izin verirken rahatsız edici hale gelmemelidir. Pentagon Technologies koruyucu giysi sistemi, en temiz ortamları bile hapşırık, cilt doku dökülmeleri ve nefesle yaratılan kontaminasyondan koruyabilmektedir. Ve zararlı ortamlar içinde aynı koruyucu sistem giyen kişiyi de korumaktadır. Ameliyat odalarında uzun süre kontaminantlara maruz kalma durumuna karşı bir cevap olarak geliştirilen bu konseptten, Pentagon Technologies pille çalışan filtrasyon sistemli hafif ve rahat bir giysi yaratmıştır. Bu sistem, doktorların karmaşık ve uzun cerrahi prosedürleri el çevikliğini engellemeyecek veya rahatsız edici olmayacak şekilde gerçekleştirebilmelerini sağlamıştır. Bu sistemlerden onbinlercesi şu anda kullanımdadır. Pentagon Technologies koruyucu giysi sistemi, kolaylıkla giyen kişiyi dış ortamdan koruyacak ve ortamı insan kontaminasyonundan uzak tutacak şekilde ayarlanabilmektedir. Sonuç olarak, bu sistemler akla gelebilecek her tür uygulamaya girmiştir. Yarı-iletken temiz odadan farmasötik doldurma hattına, hassas hayvan üretme ortamlarndan karantina bölgelerine, bu sistem en yüksek kontaminasyon kontrol standardını sağlamaktadır. ATOTEST LABORATUVAR CİH. İTH. VE MÜM. TİC. LTD. ŞTİ. Yeniköy Mah. Güzelce Alipaşa Cad. No:45/1 Sarıyer/İstanbul Tel: (0212) 223 59 88 – 223 65 33 Fax: (0212) 223 65 68 www.atotest.com.tr [email protected]