Yüzey İşleme ve Yeni Geliştirilmiş Ürünler/Teknik Hizmetler Toyo

KARBON GRAFİT ÜRÜNLERİ
Yüzey İşleme ve Yeni Geliştirilmiş Ürünler/Teknik Hizmetler
Toyo Tanso olarak karbonun sınırsız olanaklarının
olduğuna inanıyoruz
ve bizim temel ve uygulamalı araştırma girişimlerimiz
asla son bulmayacak.
Yüzey İşleme Ürünleri
· PYROGRAPH™ Ürünleri
· PERMA KOTE™ Ürünleri
55
56
Yeni Geliştirilmiş Ürünler 59
Teknik Hizmetler
62
Analiz teknolojileri
65
Yüzey İşleme Ürünleri
PYROGRAPH™ Ürünleri
PYROGRAPH™, son derece saflaştırılmış izotropik grafitin Toyo Tanso'ya özel Kimyasal Buharla Çökeltme (CVD) prosesi
kullanılarak ince bir pirolitik karbon katmanıyla kaplanmasıyla oluşturulan bir üründür.
■■PYROGRAPH™ Karakteristiği
●●pirolitik karbon katmanı son derece incedir
●●ultra saftır
●●katman kaplaması, son derece düşük gaz
geçirgenliği sağlar
●●gaza karşı mükemmel korozyon direnci
●●düşük sıcaklıklarda mükemmel oksidasyon
direnci
●●mükemmel ısıl direnç
●●grafit partiküllerinin ayrılmasını ve saçılmasını ve
grafit sübstrattan gaz ve empüritelerin
emisyonunu önler
Pirolitik karbon katmanının kolon şekilli yapısı, yapısının
son derece ince olduğu anlamına gelir.
■■Genel Fiziksel Özellikleri
■■Uygulama
●●Tek kristal silikon üretim ekipmanı
●●Atomik absorpsiyon spektroskopisi için tüp
●●OLED üretim ekipmanı
Kaplama
Yüzeyine Paralel
Kaplama
Yüzeyine Dik
Mg/m3
2,2
2,2
HSD
100
—
Elektriksel Direnç
μΩ·m
2,00 ila 4,00
2 ila 5 x 103
Isıl Genleşme
Katsayısı
10-6/K
1,7
28
Çekme Dayanımı
MPa
98 ila 147
Son derece
zayıf
Madde
Birim
Kitle Yoğunluğu
Sertlik
■■PYROGRAPH™ Özellik Verisi
■■Safsızlık Analiz Örneği
Birim: kütle ppm
Element
İçerik
B
<0,01
Na
0,03
Al
0,02
Cr
<0,10
Fe
<0,01
Ni
<0,01
Young Modülü
GPa
29 ila 39
—
Isıl İletkenlik
W/(m·K)
170 ila 420
2 ila 4
*Isıl genleşme katsayısı için ölçüm sıcaklık aralığı RT ila 1.000°C'dir.
*Yukarıdaki rakamlar, diğer yayınlardan elde edilmiştir ve garantili değildir.
■■Yayınırlık
100
*Ölçüm yöntemi: Akkor Deşarj Kütle Spektrometrisi
*Yukarıdaki rakamlar ölçüm örnekleridir ve garantili değildir.
Ölçüm Örneği
80
Yüzey İşleme Ürünleri
Yayınırlık [%]
■■Gaz Geçirgenliği
1
Ölçüm Örneği
10-2
Gaz Geçirgenliği [m2/s]
20 µm
PYROGRAPH™ Enine Kesiti
10-4
60
40
20
10-6
0
10-8
500
1000
1500
Sıcaklık [°C]
10-10
10-12
0
0
20
40
60
80
Kaplama Kalınlığı [μm]
55
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
2000
PERMA KOTE™ Ürünler
PERMA KOTE™, son derece saflaştırılmış izotropik grafitin Toyo Tanso'ya özel Kimyasal Buharla Çökeltme (CVD) prosesi
kullanılarak ince bir silikon karbür katmanıyla kaplanmasıyla oluşturulan bir üründür.
■■PERMA KOTE™ Karakteristiği
PERMA KOTE™ Yüzey SEM
100 µm
●●Silikon karbür katmanının mükemmel oksidasyon
direnci, korozyon direnci ve kimyasal direnci
bulunmaktadır.
●●Silikon karbür katmanı, yüksek sıcaklıklarda kararlıdır
ve son derece serttir.
●●Grafit partiküllerinin ayrılmasını ve saçılmasını ve
grafit sübstrattan gaz ve empüritelerin emisyonunu
önler.
●●Hem grafit sübstrat hem de silikon karbür katmanı
yüksek saflıktadır.
●●Hem grafit sübstrat hem de silikon karbür katmanının
yüksek termal iletkenliği ve mükemmel ısı dağıtım
özellikleri bulunmaktadır.
●●Malzeme, çatlamalar ve delaminasyon oluşmayacak
şekilde tasarlanmıştır.
■■Kaplama Kalınlığı
Standart kalınlığı 120 μm'dir; ancak bu değer 20 ila 500 μm arasında
değiştirilebilir.
■■Uygulama
●●Silikon epitaksiyal büyüme için susseptörler
●●Tek kristal silikon üretim ekipmanı
●●MOCVD susseptörleri
●●Isıtıcılar
●●Isı yayıcılar
●●Oksidasyona dirençli bileşenler
Yüzey İşleme Ürünleri
Silikon Epitaksiyal Büyüme Sistemi
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
56
■■PERMA KOTE™ Özellik Verisi
■■Korozyon Direnci
Kimyasal Formül
Konsantrasyon (%)
Sıcaklık (°C)
Zaman (sa)
Kütle Değişimi (g/m2)
Hidroflorik asit
Adı
HF
47
80
144
-1,0
Hidroklorik asit
HCl
36
Kaynama noktası
144
0
Sülfürik asit
H2SO4
97
110
144
0
Nitrik asit
HNO3
61
Kaynama noktası
144
0
Hidroflorik asit +
nitrik asit
HF + HNO3 (1:1)
100
80
288
-1,0
HNO3 + H2SO4 (1:1)
100
25
288
-1,0
Sodyum hidroksit
NaOH
20
80
288
0
Fosforik asit
H3PO4
100
100
192
-1,0
HCl + HNO3 (3:1)
100
80
192
0
Nitrik asit + sülfürik asit
Nitrohidroklorik asit
■■Çeşitli Maddelerle Tepkime (Vakumda)
Kimyasal Formül
1600°C x 3
saat
Alüminyum
Al


Bor
B
Reaktant
ß-SiC (Kübik Sistem) Yapısı
Kristal Yapı
: Si
:C
Kobalt
Co


Krom
Cr


Bakır
Cu


Kitle Yoğunluğu
3,2 Mg/m3
Demir
Fe


Sertlik
2800HK
Molibden
Mo

Elektriksel Direnç
0,2 Ω·m
(gerilim düşmesi yöntemi üzerinden)
Nikel
Ni
Kurşun
Pb



Eğilme Dayanımı
170 MPa (3 noktalı bükmeyle)
Young Modülü
320 GPa (defleksiyon yöntemiyle)
Silikon
Si

Kalay
Sn

*Yukarıdaki rakamlar, diğer yayınlardan alınmıştır veya ölçüm örnekleridir ve
garantili değildir.
■■Safsızlık Analiz Örneği
Tantal
Ta
Titanyum
Ti

Vanadyum
V

Tungsten
W

Alumina
Al2O3

Bor oksit
B2O3
Krom oksit (III)
Cr2O3
Demir oksit (III)
Fe2O3
Magnezyum oksit
MgO

B
0,15
Na
0,02
0,01
Cr
<0,1

Fe
0,02
Ni
<0,01
Yüzey İşleme Ürünleri
Mangan oksit (IV)
MnO2
PbO
Silikon dioksit
SiO2
Titanyum oksit (IV)
TiO2

Vanadyum oksit (V)
V2O5

ZrO2

Zirkonyum oksit (IV)
İçerik




Birim: kütle ppm
Element
Al
Kurşun oksit (II)
* ···Tepkime yok
···Tepkime
57
■■Katman Özellikleri
1200°C x 3
saat

*Ölçüm yöntemi: Akkor Deşarj Kütle Spektrometrisi
*Yukarıdaki rakamlar ölçüm örnekleridir ve garantili değildir.

···Hafif tepkime
···Önemli tepkime
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
■■Silikon Karbür Buhar Basıncı
■■Oksidasyon
*Ultra yüksek sıcaklık erime noktası malzeme el kitabından alınmıştır
0,10
Kütle Değişim Rasyonu [kütle%]
106
Buhar Basıncı [Pa]
104
102
10-0
10-2
10-4
10-6
1600
1800
2000
2200
1400°C
0,05
1100°C
Ölçüm Örneği
-0,05
2400
800°C
0,00
0
200
400
Sıcaklık [°C]
500
800
Zaman [sa]
PERMA KOTE™, yüksek sıcaklıklarda son derece kararlıdır.
PERMA KOTE™, oksidasyona dirençlidir ve SiO2 koruyucu
katmanı 800°C'nin üzerinde oluştuğundan sübstrat grafit
oksidasyondan korunur.
■■CVD-SiC ve Sübstrat grafit için Isıl Genleşme
Katsayısı
■■Isıl İletkenlik
200
0,6
Ölçüm Örneği
0,5
150
0,4
Isıl İletkenlik Katsayısı
[W/(m·K)]
Lineer Isıl Genleşme [%]
Ölçüm Örneği
Sübstrat Grafit
0,3
100
CVD-SiC
0,2
50
0,1
0
0
200
400
600
800
0
1000
0
200
400
Sıcaklık [°C]
■■Gaz Geçirgenliği
800
1000
1200
■■Yayınırlık
100
1
Pm=100 kPa
10-2
Ry5 100 µm
90
Yayınırlık [%]
Ölçüm Örneği
10-4
10-6
10-8
Yüzey İşleme Ürünleri
Gaz Geçirgenliği [m2/s]
600
Sıcaklık [°C]
Ölçüm Örneği
80
70
10-10
10-12
0
20
40
Kaplama Kalınlığı [μm]
60
80
60
0
500
1000
1500
2000
Sıcaklık [°C]
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
58
Yeni Geliştirilmiş Ürünler
Toyo Tanso olarak siz müşterilerimize özgün ürünler sağlamak için, en ileri düzeyde araştırma ve geliştirme üzerinde sürekli
çalışmaktayız. Geleneksel malzemelerin alternatiflerinin sunduğu olanakları araştırarak dünya genelindeki kullanıcılarla ortak
araştırmalar yapıyor ve gelecek nesiller için şimdiden ürünler geliştirmeye devam ediyoruz.
■■Gözenekli Karbon CNovel™
Benzersiz teknolojilerimiz kullanılarak üretilen gözenekli karbon, çap olarak yaklaşık birkaç onluk nanometre eşit boyutta birçok
delik içerir ve bu deliklerin birbirine bağlandığı özel bir yapıya sahiptir. Aktifleşmiş karbon ve diğer mevcut gözenekli karbon
malzemelerin aksine, CNovel™, kontrollü mezoporları (2 ila 50 nm) olan yeni bir malzemedir ve bu malzemenin şimdiye kadar
üretimi ve endüstriyel malzeme olarak elde ediminin zor olduğu düşünülüyordu. Hazırlama koşullarına bağlı olarak (1) özgül
yüzey alanını kontrol etmek ve (2) gözenek büyüklüğünü ayarlamak mümkündür. CNovel™, geleneksel aktifleşmiş karbon
uygulamalarına ek olarak gözenekli karbon malzemelerin kullanımının zor olduğu çevre ve enerji sektörlerindeki uygulamalarda
ve makine uygulamalarında kullanım için dikkatleri çekmeye başlamıştır.
Transmisyon elektron mikroskopundan
görüntü
Ürün görünümü
■■Metal Karbür Kaplamalı Grafit MetalizeKote™
MetalizeKote™, Toyo Tanso'ya özel bir yöntemle bir grafit malzemenin yüzeyinde bir metal karbür (karbonize metal) katmanı
oluşturan bir kaplama ürünüdür ve Cr- ve Fe bazlı kaplamalar olarak mevcuttur. Bir metal karbür oluşumu, grafit yüzeyinin metal
benzeri olmasına neden olur ve böylece grafit partiküllerin oluşumunu önlemek ve aynı zamanda diğer malzemenin
karbürleşmesinin (denatürasyon) kontrolü mümkün olur. Bu özelliği kullanıldığında MetalizeKote™, geleneksel olarak grafit
malzemeler ve kaplama ürünlerinin kullanımının olanaklı olmadığı jig ve endüstriyel fırın uygulamalarında kullanım için dikkatleri
çekmeye başlamıştır.
Yeni Geliştirilmiş Ürünler
Ürün görünümü
SEM enine kesit görüntüsü
59
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
■■TaC kaplamalı Grafit EVEREDKOTE™
Son yıllarda silikon karbür (SiC), galyum nitrit (GaN), alüminyum nitrit (AIN), çinko oksit (ZnO) ve diğer malzemeler, sonraki nesil
elektrikli aygıtlarda kullanım için dikkatleri çekmeye başlamıştır. Bu monokristalin üretim prosesleri, amonyak ve hidrojen klorür
gibi korozif gazları kullanarak yüksek sıcaklıkları ve çetin ortamları kapsar. Bu tür çevre koşullarında geleneksel bileşenlerin
kullanımı, ısı ve korozif gazlardan dolayı yaşam süresini kısaltır. EVEREDKOTE™, TaC ile kaplanmış bir grafit malzemeden
oluşan bir kompozit malzemedir. Yaklaşık 4.000°C'de erime noktasına sahip bu TaC kaplama, ultra yüksek ısıl kararlılık sunar.
Dahası çatlamaz ve mükemmel termal şok direncine sahiptir. TaC kaplamanın bu özellikleri, grafit sübstratını korur ve bileşen
ömrünü uzatır.
Ürün görünümü
SEM enine kesit görüntüsü
■■TaC-Ta Kompozit EVEREDKOTE™-K
EVEREDKOTE™-K, Kwansei Gakuin Üniversitesi ile ortaklaşa geliştirilen bir kompozit malzeme olup karbürize tantaldan oluşur
ve bu sayede yüzeyi bir TaC katmanı oluşturur. EVEREDKOTE™ gibi EVEREDKOTE™-K de, yüksek sıcaklık karakteristiğine
sahiptir ve dahası yapışma direnci ve mekanik mukavemet gibi diğer niteliklere de sahiptir. Bu yüzden fırın içlerinde kullanılan
yapısal parçalarının maruz kaldığı yüksek sıcaklık ortamlarında kullanılabilmektedir.
Ürün görünümü
SEM enine kesit görüntüsü
KLASTA MATE™, metalin bir karbon malzeme içerisinde homojen dağıldığı bir yapıya sahiptir. Bir veya iki elementle birlikte çok
çeşitli katkı maddesi türleri ve konsantrasyonlarında kullanılabilmektedir. Grafite benzer biçimde KLASTA MATE™, mükemmel
işlenebilirliğe sahiptir ve karmaşık şekillerde üretilebilir. Ark deşarjı için bir buhar kaynağı olarak KLASTA MATE™, üretim
metalofulerenleri ve karbon nanotüpleri için uygundur. Dahası, ark iyon kaplama için bir buhar kaynağı ve püskürtümlü kaplama
için bir hedef malzeme olarak metal katkılı DLC film formasyonu için de uygundur.
Yeni Geliştirilmiş Ürünler
■■Metal/Karbon Kompozitleri KLASTA MATE™
Ürün görünümü
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
60
■■Seramik/Metal Kompozitler CARBOCELL™
CARBOCELL™, Osaka Üniversitesiyle ortaklaşa geliştirilen bir seramik metal kompozit malzemedir. Bu yeni malzeme, yoğun
konsantrasyonlarda karbon partiküllerinin seramikle (Seramik Bağlı Karbon veya CBC) ve metalle (Metal Bağlı Karbon veya
MBC) sinterlenmesi sonucunda elde edilir. CARBOCELL™, karbonun niteliklerine sahipken aynı zamanda seramik ve metalin
işlevlerini de sergiler. Alüminyum nitrit (AIN) ve silikon karbür (SiC) ile sinterlendiğinde CBC; ışık, ısıl kararlılık, sızdırmazlık
özellikleri, kayma özellikleri, aşınma direnci, yüksek ısıl iletkenlik, toz kontrol özellikleri ve yüksek hassasiyette işlemeyle
uyumluluk gerektiren uygulamalar için uygundur. Sadece seramikle değil aynı zamanda tungsten ve molibden gibi yüksek eriyen
metallerle de birleştirilebilir. Alüminyum (Al) ile birleştirilen MBC, sıcak preste işlenebilir ve yüksek sıcaklık kayma malzemesi,
sızdırmazlık malzemesi ve elektrot bileşeni olarak potansiyeli vardır.
CBC: enine kesit görüntü
Karbon partiküller, birkaç mikrometre
kalınlıkta silikon karbürle (SiC) kaplanır ve
sonra sinterlenir.
Ürün görünümü
MBC: enine kesit görüntü
Alüminyum sürekli bir faz oluşturduğundan
plastik işleme olanaklıdır.
■■Flor Yüzey Modifikasyonu
Flor elektrolizi için karbon elektrotlarını geliştirme sürecimizde elde ettiğimiz özel teknolojiler ve bilgilerimiz temelinde Toyo
Tanso, endüstriyel ortamda kullanımı zor olan flor gazının kararlı ve emniyetli tedariki ve kullanımına yönelik oturmuş
teknolojilere sahiptir. Bu flor gazı teknolojilerini kullanarak, son yıllarda elektronik malzemeleri ve medikal alanlarda artan talebin
söz konusu olduğu flor yüzey modifikasyon prosesini geliştiriyoruz. Bir malzeme, flor gazıyla tepkimeye girdiğinde yüzeyinin
doğası değişir. Toyo Tanso, özelliklerdeki bu değişimi kontrol edebilen teknoloji ve bilgiye sahiptir. Malzeme yüzeyinin durumunu
daha su itici veya daha su sever yapma yeteneğimize ek olarak, malzemeye aynı zamanda gaz geçirgenliği ve elektriksel
özellikler de verebiliyoruz. Üstelik, yüzey işlemlerimiz gaz kullanan tepkimelerle gerçekleştirildiğinden herhangi bir şekildeki
hedef ürüne uygulanabilmektedir. Örneğin, nanomateryaller (tozlarla temsil olan), karışık işlenen ayrıntıya sahip karmaşık
kalıplanmış nesneler ve diğer malzemelerin homojen yüzey işlemesini yapabiliyoruz.
Yeni Geliştirilmiş Ürünler
61
Yakıt hücresi separatörü için uygulama örneği
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
Teknik Hizmetler
Toyo Tanso, müşterinin sağladığı malzemeler için çeşitli işleme veya işlemler sunabilir. Karbon üretimini temel alan olağanüstü
teknolojilerimiz, yüksek zorluk gerektiren imalat, malzemelerin kalite ilerleyişi gibi müşterilerin yüksek beklentilerine yanıt
verebilmemizi sağlamaktadır.
■■Grafit ve Karbon işleme
●●Yüksek zorlukta işleme
•• İnce duvar işleme
Jigleri ve işleme yöntemlerini optimize ederek zor ince duvar işleme
işlerini başarıyla gerçekleştirebiliriz. (Örnek: 0,2 mm kalınlıktaki içi boş
silindir)
•• 3D İşleme
Çizimleri temel alarak bir 3D model hazırlıyor ve istenen ürünü
üretmek için program yazıyoruz. İstek üzerine, bir fiili ürünü ölçebiliyor
ve fiili boyutlar temelinde nesneler üretebiliyoruz.
•• Özel iç çap işleme
İş parçasını bölümlere kesmeden monolitik nesneler yapmak için özel,
iç çap işleme işlerini gerçekleştirebiliyoruz. (Maksimum işlenebilir
boyutlar: ø300 mm L = 400 mm)
İnce duvar işleme
3D İşleme
Özel iç çap işleme
●●Montaj Hizmetleri
Grafit montajı
•• Grafit montajı
Tasarım aşamasından ta işleme ve montaj aşamalarına kadar ürünleri
üretebilme kapasitemiz, ürünleri monte edebilmemize ve montajdan
sonra çalışma testleri yapabilmemize olanak tanımaktadır.
•• C/C kompozit montajı
Tasarım aşamasından işleme ve montaj aşamalarına kadar ki ürünleri
üretebilme kapasitemiz, montaj hassasiyetini kontrol ettikten sonra
ürünleri sevk edebilmemize olanak tanımaktadır.
C/C kompozit montajı
●●Diğer işlemeler
•• Büyük sızdırmazlık halkaları
Büyük makineler için imalatı özellikle zor olan sızdırmazlık halkaları
üretebiliyoruz. Hassas paralellikte, düzlükte, yüzey sertliğinde ve diğer
özelliklerde ürünler üreterek, sızdırmazlık halkalarımızın son derece
yüksek hava geçirmezliği olan sızdırmazlık oluşturmasını
garantiliyoruz. (Maksimum işlenebilir çap: ø500 mm)
•• Sıkı geçme oturtma ve montaj
Karbon ve metali sıkı geçmeyle oturtabilir ve ayrıca yapıştırmayla
ürünleri monte edebiliriz. (Maksimum işlenebilir çap: ø600 mm'ye
kadar)
Sıkı geçme oturtma
ve montaj
Kesitsel işleme
•• Gözenekli malzemeler
Birden çok kafalı işleme merkezimiz ile son derece zor gözenekli
nesneleri çabucak hassas işleme yapabiliyoruz.
Teknik Hizmetler
•• Kesitsel işleme
Kompresör piston segmanları ve benzer uygulamalarda kullanılan
kesitlenen ürünlerde gerektiği gibi eşleşen yüzeyler arasında hiçbir
boşluğun (ışık sızıntısının) olmamasını sağlamak için sofistike işleme
görevlerini yerine getirebiliriz. Kesitlerin şekilleri ve sayıları konusunda
bize danışınız. (Maksimum işlenebilir çap: ø1.400 mm)
Büyük sızdırmazlık
halkaları
Gözenekli malzemeler
•• Paletler
Arabalar için kitlesel üretilen ürünlerden genel endüstri için düşük
hacimle sipariş üzerine ürünlere kadar, tutarlı kaliteyle birlikte son
derece talepkar boyutsal hassasiyet isteyen çeşitli paletler kadar
üretebiliyoruz.
Paletler
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
62
■■Isıl İşlem
●●Pişirme İşlemi
•• 1000°C'ye kadar ısıl işlem
Oksitleyici olmayan ortamlarda ısıl işlem (yaklaşık 1000°C'ye kadar bir sıcaklıkta) yapabiliyoruz.
Organik gazlar üretilse bile bunun için önlemler alabiliyoruz.
●●Grafitleştirme İşlemi
•• 3000°C'ye kadar ısıl işlem
Isıl işlem (yaklaşık 3000°C'ye kadar bir sıcaklıkta), kok tozuyla birlikte sağlanan malzemenin
fırına doldurulmasını ve sonra elektriksel dirençle ısıtma işlemlerini gerçekleştirebiliyoruz.
●●Çeşitli Isıl İşlemler
•• Toyo Tanso'nun çeşitli ısıl işlemleri
Yukarıda açıklananların dışındaki diğer işlem fırınlarını kullanan
çeşitli ısıl işlemler de mevcuttur.
Madde
İşlem Yöntemi
Mevcut boyut (mm)
MAKS. Sıcaklık (°C)
Isıl İşlem Koşulları
Vakum
İşleme
N2 veya Ar
İşleme
1500G x 1400Y x 2000U
2000
ø1050 x 830H
2300
1500
Vakum
Dekompresyon
(0,5 KPa'dan
Kontrolü
düşük)
(20 ila 86 KPa)
Basınç
Halojen
İşleme
H2 İşleme
Normal Basınç
■■Yüksek Saflık İşlemi
Bir grafit malzemeyi, halojen bir gaz ortamında ısıl işleyerek
malzemenin içerisindeki empüriteler ayrıştırılabilir. Yüksek saflıkta
işlemeyi kullanmak, grafit malzemedeki metal katışkıların 5 ppm'e
veya altına kadar düşük tutulmasına olanak sağlamaktadır.
Madde
Yüksek Saflaştırma Koşulları
Sıcaklık (°C)
«MAX» 2300
Mevcut Boyut (mm)
1500G x 1400Y x 2000U
Kalınlık
Ürün kalitesine bağlıdır
Saflık (kütle ppm)
5'ten düşük
*Yukarıdaki işlem sonuçları, Toyo Tanso grafit malzemesi kullanılarak elde edilmiştir.
■■Yüzey İşleme
●●SiC Kaplama PERMA KOTE™
PERMA KOTE™ Yüzey SEM
Kimyasal buharlı çökeltmeyle (CVD) yoğun bir silikon karbür (SiC)
katmanı oluşturulur.
 Sübstratı ortamdan korur
 Sübstrattan partikül ve gaz oluşumunu kontrol eder
 Sübstrat yüzeyinin modifikasyonuna vb. olanak tanır
 Maksimum boyutlar: ø1.050 x 830 mm
●●Pirolitik Grafit Kaplama PYROGRAPH™
Madde
SiC Kaplama için koşullar
MAKS. boyut (mm)
ø1050 x 830H
SiC katmanının
kalınlığı (μm)
100 µm
Metal katışkı içeriği
(kütle ppm)
*GDMS yöntemine göre
120±30
B: 0,15 / Na: 0,02
Al: 0,01 / Cr: <0,1
Fe: 0,02 / Ni: <0,01
*Lütfen SiC katmanının kalınlığına karar verirken
danışınız.
PYROGRAPH™ Enine Kesiti
20 µm
Teknik Hizmetler
Pirolitik karbon, kimyasal buharla çökeltmeyle (CVD) kaplanır.
 Gaz geçirimsizliğini artırır
 Sübstrattan partikül ve gaz oluşumunu kontrol eder
 Kimyasal direnci artırır
●●Camsı Karbon
Pirolitik karbon
katmanının kolon
şekilli yapısı,
yapısının son
derece ince olduğu
anlamına gelir.
Cam Benzeri Karbon Enine Kesiti
Camsı karbon sübstratı emprenye eder veya kaplar.
 Gaz geçirimsizliğini artırır
 Sübstrattan partikül oluşumunu kontrol eder
●●SiC/C kompozitler
SiC/C kompozit katmanının yapısı
Toyo Tanso'nun izotropik grafit üretim teknolojisi ve silikon karbür (SiC) araştırma sonuçları
kullanılarak geliştirilen teknoloji.
63
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
■■Empregnasyon
●●Zift empregnasyon
•• Basınç bazlı zift empregnasyon işlemi
Sağlanan malzemedeki gözenekleri basınç altında emprenye edebilir ve ayrıca karbonize
etmek için pişirme de uygulayabiliriz.
Örnek uygulamalar: Artan ürün boyutu, yeni ürün geliştirme ve daha fazlası gibi uygulamalarda
refraktör malzemeler, elektrot malzemeleri, seramik vb.
●●Metal empregnasyonu
Sağlanan malzemedeki gözenekleri yüksek sıcaklıkta ve basınç altında metalle (bakır, bakır
içeren metaller ve antimuan) emprenye edebiliriz.
 Dayanıklılık, elektriksel iletkenlik, ısıl iletkenlik ve geçirimsizliğin artışı
●●Reçine empregnasyonu
Sağlanan malzemedeki gözenekleri oda sıcaklığındaki basınçla reçineyle (fenol ve furan
reçineleri) emprenye edebilir ve sonra onu ısıtabiliriz (yaklaşık 250°C'ye kadar olan bir sıcaklıkta).
Dayanıklılık ve geçirimsizliği (hava geçirmezliği) artırır
■■Biçimlendirme
●●Hidrolik biçimlendirme
Soğuk Izostatik Presleme (CIP), seramik, refrakterler ve toz metalürjisi alanlarında etkin bir
kalıplama yöntemi olarak son derece fazla kabul görmektedir. Homojen bir basınç uygulayarak
çeşitli şekillerde toz kalıplama yapabiliriz.
■■Ölçüm
●●Boyut ölçümü
•• 3D ölçüm makinesi (temas tip)
1.600 (X) x 3.000 (Y) x 1.200 (Z) mm boyutlara kadar nesneleri ölçmek için manüel ekipman,
otomatik CNC ölçüm ekipmanı ve diğer ekipmanları kullanıyoruz. Ayrıca ø0,5 mm (temas)
boyuta kadar küçük mikroskoplarımız ve sondalarımız bulunuyor ve bunlarla iş parçasının
büyüklüğüne bakılmaksızın çok çeşitli şekillerin yüksek hassasiyetteki ölçümlerini
gerçekleştirebiliyoruz.
Crysta-Apex (Mitutoyo Corporation)
Özellikler
1.Ölçüm Aralığı (X.Y.Z)
Maks. boyut 1600 x 3000 x 1200 mm
2.Maks. ağırlık 3500 kg
3.Hassasiyet (μm)
MPEE 6,0 + 5,5 L/1000
Teknik Hizmetler
•• CNC görüntülü ölçüm ekipmanı (temassız tip)
CCD kameraları ve lazer ekipmanları kullanarak temassız ölçüm gerçekleştirebiliriz. Bu, iş
parçasında ölçüm basıncından kaynaklanan plastik deformasyonun olmamasını sağlar ve
böylece kararlı, yüksek hassasiyetli ölçüme olanak tanır.
1.500 x 1.750 x 100 mm (X, Y, Z) büyüklükteki iş parçaları ölçülebilir.
QV ACCEL (Mitutoyo Corporation)
Özellikler
1.Ölçüm Aralığı (X.Y.Z)
Maks. boyut 1500 x 1750 x 100 mm
2.Maks. ağırlık 50 kg
3.Hassasiyet (μm)
Düzlüğün Ölçüm Hassasiyeti (X.Y) 3,5 + 4 L/1000
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
64
Analiz teknolojileri
Toyo Tanso, yeni malzemeler geliştirmek ve malzeme tasarımı ve yeni uygulamalar konusunda araştırma ve geliştirme yapmak
üzere çeşitli analiz ekipmanlarıyla analiz teknolojilerini kullanır. Biz ayrıca üretim prosesi geliştirme gibi çok çeşitli müşteri
isteklerine yanıt veriyor ve sorunları tanılama ve çözmeye katkıda bulunuyoruz. Bu şekilde, analiz teknolojilerimiz sayesinde
daha iyi ürünler ve sofistike teknolojiler ve hizmetler sunmaya çabalıyoruz.
■■Isıl analiz
Grafit malzemesi mükemmel bir ısıl dayanıklılığa sahiptir ve yüksek sıcaklıklı ortamlarda
sıklıkla kullanıldığından bir malzemenin ısı uygulandığında nasıl davranış sergilediğini anlamak
önemlidir. Toyo Tanso, çok çeşitli ısıl analiz ekipmanlarına sahip olup (TMA, TG-DTA vb.)
kullanım koşullarınıza uyan veriler sağlayabilir. Bu veriler temelinde, bileşen tasarımı için ısıl
gerilme hesaplaması ve FEM analizi, kimyasal tepkime ve ısıdan dolayı durum değişmesi
analizi, oksitleyici ortamlarda malzeme aşınma analizi dahil malzeme seçiminde yardımcı olan
çeşitli hizmetler sağlıyoruz.
■■Yapısal analiz ve yüzey analizi
Grafit malzemesi doğasında polikristalin ve gözeneklidir ve hammadde ve üretim
yöntemlerindeki farklılıklar sebebiyle yüzey şekli ve iç yapısı bakımından epey farklılık gösterir.
Uygulamanıza uygun malzeme seçmek ve geliştirmek için yapı çeşitleri konusunda bir anlayışa
sahip olmak önemlidir. Toyo Tanso, amaca bağlı olarak bu analizlere uyan tüm çeşitlerde ölçüm
ekipmanlarını (XRD, FE-SEM, polarlaştırıcı mikroskoplar vb.) kullanır ve makrodan nano
düzeye kadar çeşitli analizler yapar.
■■Element analizi
Grafit malzemeler son derece yüksek saflıkta üretilebildiğinden yarı iletken imalat ekipmanları
gibi kirletici maddelerin önlenmesinin gerektiği uygulamalarda sıklıkla kullanılmaktadır. Yüksek
saflık düzeyinin gerektiği uygulamalarda iz kirleticilerin analizi önemli bir analiz aracıdır. Toyo
Tanso, çeşitli element analiz ekipmanlarına sahiptir (ICP-OES, XRF vb.) ve isteklerinize yanıt
vermeye hazırdır.
■■Fiziksel özellikleri
Analiz teknolojileri
65
Hepsi bileşen/malzeme tasarımı için önemli olan gerilme, sıkıştırma ve eğilme dayanımı gibi
temel fiziksel özellikler üzerine veri sağlıyoruz.
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
■■3D CAD yöntemiyle bilgisayarda
Toyo Tanso, 3D CAD yöntemiyle bir bilgisayarda ürünlerin üç boyutlu görüntülerini üretmektedir ve ürünü işlemeden önce şekil
ayrıntılarını kontrol ederek son ürünün kalitesini iyileştirmektedir. Biz ayrıca şema diyagramlarınız ve tasarım bilgileriniz
temelinde 3D CAD ile tasarım desteği sağlıyoruz.
■■Sonlu eleman yöntemi (FEM analiz örnekleri)
Ortamınıza bağlı olarak FEM bilgisayar simülasyonlarını kullanarak karmaşık ürün şekillerindeki ısıl deformasyonu, ısı
gerilmesini, akım yoğunluğu dağılımını ve diğer faktörleri analiz etmek yoluyla, Toyo Tanso, ürün performansını artırma,
maliyetleri azaltma, ürün geliştirme hızını artırma vb. konularda tasarım süreçlerine yönelik kapsamlı destek sunmaktadır.
■■Isıl Deformasyon Analiz Sonuçları
Deformasyon Miktarı (mm)
Tüm yönlerde bileşenler
1,50
Genel Görünüm
Deformasyon Miktarı (mm)
Tüm yönlerde bileşenler
1,35
1,20
0,90
1,05
0,60
0,75
0,60
0,45
Üstten Görünüm
Oluşan Gerilme
(MPa)
1,50
1,20
0,90
■■Isıl Gerilme Analiz Sonuçları
30
24
Çekme
Gerilimi
Deformasyon Miktarı (mm)
Isıtıcı yükseklik yönündeki bileşenler
0,15
0,8
0,00
0,6
12
0
0,00
1,0
18
6
0,30
0,30
Genel Görünüm
Önden Görünüm
6
Sıkıştırma
Gerilimi
12
18
24
30
0,4
0,2
0,0
Akım Yoğunluğu
(A/cm2)
300
Genel Görünüm
Analiz teknolojileri
■■Akım Yoğunluğu Dağılım Sonuçları
270
240
210
180
150
120
90
60
30
0
Bu katalogdaki hiçbir bilgi, Toyo Tanso'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.
66