QIII+® Yüzey Parçacık Dedektörü

QIII+® Yüzey Partikül Dedektörü
Üretkenlik Kavramını Yeniden Tanımlayın
PM sonrası bir aletin temizliğini nasıl ölçersiniz? Pentagon Technologies’in QIII+® PM
toparlanma süresini, yeşilden yeşile süresini ciddi miktarda düşürebilir ve fabın genel iş
çıkarma yeteneğini artırabilir.
QIII+® kullanarak, anında 0.3 mikrona kadar partikülleri saptayabilir ve bir imalat aleti
içinde konumlandırabilirsiniz. Bu PM’e dair ileriye dönük yaklaşım PM sürelerinde %30’a
varan tasarruf ve partikül birikiminde %50 ya da daha fazla düşüşle sonuçlanacaktır. İşe temiz
başlamak, işlem aletlerinizi her partikül boyutunda ciddi oranda daha az partikül birikintisiyle
karşı karşıya bırakarak çok daha üretken yapacak bir ilk-adım toparlanma süreci olacaktır.
Faydaları
Tahmin edilebilir, ilk-adım alet toparlanma, her zaman
Toparlanma süresini %25-50 düşürür
Fırınlama ve test plakaları ihtiyacını düşürür
Pompa-arıtma çevrimlerini azaltır
MTBC’yi 4 kat ya da daha fazla artırır
Alet bulunurluğunu artırır
PM çevrim süresini azaltır
Sorungiderme durumlarını azaltır
İlk-Adım PM Toparlanma
PM toparlanma süresi %50 ya da daha fazla düşürülebilir ve partikül birikimleri, partiküllerin
ileriye dönük algılanıp normal PM esnasında temizlenmesiyle büyüklük oranında ya da daha
az miktarda azaltılabilir. Örnek olarak, aşağıdaki denklem nasıl bölgeye-özgü temizlemenin
(her PM’den pompa/arıtma çevrimlerinin düşürülmesi sonucuna dayalı olarak) yıllık geri
dönüşlere ciddi oranda etki edeceğini göstermektedir.
(Hazne sayısı x PM x 12 ay) x (Tasarruf edilen süre x Değer/saat.) = Yıllık tasarruf
Fab hazne sayısı = 63 (21 alet; her biri için 3 işlem haznesi)
PM/ay/hazne = 1
PM başına tasarruf edilen zaman = 1,5 saat (Her biri 1 saate denk 1,5 pompa/arıtma çevrimi
ortadan kaldırılır)
Alet süre saati başına değer = $10,000
Yıllık tasarruf = 11,340,000 Dolar
(63 × 1 × 12) x (1.5 x $10,000) = 11,340,000 Dolar
Artan MTBC
Partiküllerin kontrol edilmesi için QIII+®’yi PM sürecine entegre etmekle Temizleme Arası
Ortalama Süre (Mean Time Between Cleans (MTBC)) artıılabilir.
Örnek 1: 300mm Dielektrik dağlama aleti
MTBC QIII+® öncesi: 174 rf saat
MTBC QIII+® sonrası: 300 rf saat
Alet başı aylık CoO tasarrufu: 13,200 Dolar
ROI: 3.6 ay
Örnek 2: 300mm Metal dağlama aleti
MTBC QIII+® öncesi: 40 rf saat
MTBC QIII+® sonrası: 110 rf saat
Alet başı aylık CoO tasarrufu: 85,200 Dolar
ROI: 0.6 ay
CoO, Wright Williams & Kelly A.Ş.’nin Tool Cool yazılımı kullanılarak hesaplanmıştır.
Sorun Giderme
Bir 300 mm PECVD cihazı partikül sorunlarından dolayı 2 ay çalışmaz durumda kalsı.
Aylarca süren bileşen değiştirmeleri ve tekrarlanan ıslak temizlikler sonrası problem OEM’e
kadar yükseldi. Ardından, yüksek parçacık bulunduran bölgelerin saptanması amacıyla hazne
partiküllerinin haritalanması işlevi için QIII+® kullanıldı. QIII+® verilerine dayalı
odaklanmış sorun giderme çalışmaları yapıldı. SONUÇ: Problem QIII+® kullanılarak 2
günde çözüldü ve cihaz anında üretime tekrar başladı.
Teknik Veriler
Boyutlar: 9.4” G x 17” D x 12” Y
Giriş Gücü: 100-240 VAC, 50/60 Hz
Ekran: 6.5” FPD dokunmatik ekran
GUI: Windows CE
Sensör: Lazer diot - 0.3μ hassasiyet
Çıkış: Ethernet
Prob Koruyucu Çerçeve Malzemesi: Vespel
Partikül Analiz Modülü (opsiyonel)
Prob Seçenekleri
Standart:
1/2” Dik Açı ve 5/8” Kalem Prob veya
1/2” Dik Açı ve 2” Düz
Optional:
3” Düz; 2” ve 3” Dik Açı
65 mm Kaset
Talep üzerine kişiselleştirme mümkündür
Fan Filtre Üniteleri
Temiz aletler temiz havaya ihtiyaç duyar. Yenilikçi, özelleştirilmiş çözümlere dair
bağlılığımız EFEM’iniz içindeki havanın, mümkün olan en verimli şekilde en yüksek partikül
giderme standardına uyumlu olmasını temin etmeyi içermektedir.
Pentagon Technologies her tür ortam için küçük, özelleştirilmiş üniteler tasarlar ve
üretir.
Öncelikle her bir müşterimizin ihtiyaçlarını ve sorunlarını belirlemek için kendileriyle
görüşürüz. Ekibimiz ortamınıza ve hava akış yönetimi özelliklerinize uyacak bir ilk tasarım
geliştirecektir. Süreç ve ortam için gerekli konfigürasyon, hava akışı, boyut ve standartları
belirledikten sonra, fan filtrenizin mühendislik ve test aşamasına geçilecektir. Ancak filtre
üniteniz bu koşulları sağladıktan ya da aştıktan sonra temiz odanıza kurulumu yapılacaktır.
Ünitelerimiz .12µ mpps’de (en fazla geçen parçacık boyutu) %99,99995 verime
ulaşabilmektedir. Mevcut hiçbir filtre bu seviyeyi geçememiştir.
Fan filtre ünitelerimiz Sınıf 1 temiz oda için geçerli yeni ISO 14644-1 standardını –
metreküpte 10 ya da daha az 0.1µ parçacık– karşılayabilmektedir.
Hava akışı partikül kontrol ve basınçlama için uygun olmalıdır. Filtre ünitelerimiz,
hava akış hızını izleyecek ayarlanabilir damperlerle bu ikisi için optimum dengeyi
sağlayabilmektedir.
Hız, iyonizasyon ve ünitenizdeki körük sayısını da kapsayan bir dizi ayarlama
olanağına sahipsiniz. Filtre tasarımınızda her tür gereksinim cevap bulabilir –fan
kapasitesinden hata alarmlarına, uzaktan kumanda, hizmet gerekleri ve gürültü
seviyesine kadar.
Birden fazla filtre seçeneği elinizin altında – borosilikat fiber, düşük boron ve
boronsuz (PTFE) filtre seçenekleri.
Her türlü malzemeyle –çelik, plastik, alüminyum– çalışabilmekte ve ihtiyaçlarınız
doğrultusunda her boyutta ünite üretebilmekteyiz.
Fab ortamınız için özelleştirilmiş kimyasal filtrasyon seçenekleri tasarlayabilmekte ve
ekleyebilmekteyiz.
Pentagon Technologies her tasarımda filtre ve körüklere kolay erişimi standart olarak
sunmaktadır.
Dar alan ve özel güç gereksinimleri gibi her tür koşula uyan üniteler
sağlayabilmekteyiz.
Mühendislerimiz üniteleri sahada test eder, dengeler ve bakım yapar. Kurulduktan sonra
ekibimiz ünitenizi ihtiyacınız olduğu şekilde tekrar dengeleyebilir ve test edebilir. Bu çeşit
desteği her nokada tüm fablara sunmaktayız.
Koruyucu Giysi Sistemleri
Kullandığınız koruma sistemi güven hissi yaratmalıdır.
Ürününüzü ya da çalışanlarınızı korumak için sisteminiz güvenilir ve en zorlu ortamları
kaldırabilecek kabiliyette olmalıdır. Aynı zamanda giyen kişinin uzun süreler boyunca hassas
hareketler yapmasına izin verirken rahatsız edici hale gelmemelidir.
Pentagon Technologies koruyucu giysi sistemi, en temiz ortamları bile hapşırık, cilt doku
dökülmeleri ve nefesle yaratılan kontaminasyondan koruyabilmektedir. Ve zararlı ortamlar
içinde aynı koruyucu sistem giyen kişiyi de korumaktadır.
Ameliyat odalarında uzun süre kontaminantlara maruz kalma durumuna karşı bir cevap olarak
geliştirilen bu konseptten, Pentagon Technologies pille çalışan filtrasyon sistemli hafif ve
rahat bir giysi yaratmıştır. Bu sistem, doktorların karmaşık ve uzun cerrahi prosedürleri el
çevikliğini engellemeyecek veya rahatsız edici olmayacak şekilde gerçekleştirebilmelerini
sağlamıştır. Bu sistemlerden onbinlercesi şu anda kullanımdadır.
Pentagon Technologies koruyucu giysi sistemi, kolaylıkla giyen kişiyi dış ortamdan
koruyacak ve ortamı insan kontaminasyonundan uzak tutacak şekilde
ayarlanabilmektedir. Sonuç olarak, bu sistemler akla gelebilecek her tür uygulamaya
girmiştir. Yarı-iletken temiz odadan farmasötik doldurma hattına, hassas hayvan üretme
ortamlarndan karantina bölgelerine, bu sistem en yüksek kontaminasyon kontrol standardını
sağlamaktadır.
ATOTEST LABORATUVAR CİH. İTH. VE MÜM. TİC. LTD. ŞTİ.
Yeniköy Mah. Güzelce Alipaşa Cad. No:45/1 Sarıyer/İstanbul
Tel: (0212) 223 59 88 – 223 65 33 Fax: (0212) 223 65 68
www.atotest.com.tr [email protected]